日本SMC真空發(fā)生器使用說明書

[單向閥]
●通過背壓防止液體回流
●帶O型密封圈、有*可動部分的*設計
●無彈簧結構通過二次側的振動、振盈或壓力波動來抑制發(fā)塵
[真空發(fā)生器]
●真空發(fā)生設備
●在交換儲氣瓶時，可釋放在配管中殘留的無用氣體
[流量開關]
●在給定的流量下，檢測出配管破裂而導致的過剩流量

AP70SMV4MV6FV4

字段描述字段取值取值描述
形式70小型·高
材質SSUS316L
配管連接進口N2通口MV41/4面密封接頭 外螺紋
配管連接排氣側MV63/8面密封接頭 外螺紋
配管連接真空側FV41/4面密封接頭 內螺紋

注意事項：

確認產品的安裝方向？請確認產品的安裝方向
帶有IN標志的是進口側，帶有OUT標志的是排氣側。僅箭頭所示的產品表示流體從入口側流向排氣側的方向。入口側和排氣側排成條直線。真空側是在與入口側和排氣側的方向垂直的方向上的端口，取決于產品，存在VAC標記。請檢查安裝方向并將其正確放置。
②配管，惰性氣體沖洗，清洗等惰性氣體沖洗，惰性氣體沖洗，惰性氣體沖洗，清洗等。連接產品后請連接產品？
如果管道中留有灰塵或水垢，可能會導致故障或故障。用惰性氣體以外的氣體沖洗是危險的，請不要這樣做。

請不要用裸手關節(jié)部和③系統(tǒng)產品的氣體接觸部分觸及？請不要用裸手使用脂和油觸摸各種部件的接合部和對照產品的氣體接觸部？此外，油脂和油，以控制產物的各部分請不要使用。請不要。
④密封開的包裝開密封包裝梱梱請在清潔的環(huán)境中進行，請在稀薄的環(huán)境，干凈的環(huán)境，請進行進行？
產品緊密封閉，雙重包裝在潔凈室。請在潔凈室或干凈的環(huán)境中打開內包裝。
⑤請確保維護空間？請確保維護空間？
請確保維護檢查所需的空間。
⑥根據用于管的連接管的工業(yè)標準焊接為焊接管接頭的接頭管接頭（見SEMI標準?F78），請通過焊接管道。事實動吹掃氣體，在形式態(tài)設備閥門有發(fā)展，焊接入口的事實 - 從出口側 - 側請通過從入口流動的吹掃氣體 - - 設備的側，焊接出口的事實設備的側。
⑦用于管連接的接頭請連接伙伴是提供種控制產品配件和面密封接頭（金屬墊片面密封型），用于將面部密封件的配管連接的管接頭的端面密封接頭的大小相同。
將墊圈放在接頭的頂端，擰緊螺母，然后用扳手轉動陰螺母1/8圈。請使用不銹鋼或鎳作墊片。
⑧將操作液連接到操作口。將操作流體連接到操作口。
對于具有空氣式閥門的設備，將操作液體連接到操作口。請使用氮氣或清潔空氣作為操作液。
⑨配管后請進行泄漏檢查，進行泄漏檢查，進行泄漏檢查。
根據用途，請進行氦泄漏測試，壓降測試，氣泡泄漏測試等的泄漏檢查。對于面密封配件和管道焊接接頭，建議按照標準（見SEMI標準F1）進行氦氣泄漏測試。

AP70SMV4MV6FV4
AR25K-F02BE4-1RZA-B
VX212AZ1J
AWM30-F03C-R
CP96SDB100-6
VNB212AS-F1-5D-B-Q
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
CD85N25-430-A-X2018
SS5V1-W16SA2WD-10BS-C6

日本SMC真空發(fā)生器使用說明書